อุปกรณ์การผลิตฟิล์มกระจกหน้าต่าง

1. อุปกรณ์แมกนีตรอนสปัตเตอร์
ปัจจุบันผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งที่มีชื่อเสียงที่สุดในโลก ได้แก่ บริษัท Arico ของสหรัฐอเมริกา และบริษัท Leybold ของเยอรมนี อุปกรณ์ทั้งสองมีหลักการกระบวนการเดียวกัน แต่แต่ละอุปกรณ์ก็มีจุดแข็งของตัวเอง ความแตกต่างที่สำคัญคือ:
(1) ระบบสูญญากาศที่ใช้ในอุปกรณ์การเคลือบของบริษัท Leybold Company ของเยอรมนีเป็นปั๊มเทอร์โบโมเลกุล ในขณะที่บริษัท AGCO ในอเมริกาใช้ปั๊มกระจายน้ำมัน เมื่อเปรียบเทียบกับปั๊มกระจายน้ำมัน ปั๊มโมเลกุลมีความแม่นยำสูงกว่า ใช้เวลาดูดฝุ่นสั้นกว่า และจำเป็นต้องเปลี่ยนทุก ๆ สองปีเท่านั้น ในขณะที่ปั๊มกระจายน้ำมันจำเป็นต้องเปลี่ยนน้ำมันทุก ๆ หกเดือนและทำความสะอาดปีละครั้ง
(2) บริษัท AIKE ในอเมริกาได้คิดค้นเป้าหมายแบบหมุนได้ของ C-MAG ซึ่งสามารถปรับปรุงอัตราการใช้เป้าหมายได้ โดยทั่วไปอัตราการใช้เป้าหมายโดยเฉลี่ยคือ 20-30% ในขณะที่อัตราการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายแบบหมุนสามารถเพิ่มเป็น 70-80%
(3) ห้องสปัตเตอร์ของบริษัท German Leybold ประกอบด้วย 17 ช่อง ซึ่งสามารถขยายได้สูงสุด 6 แคโทด ห้องสปัตเตอร์ของ American AGCO ประกอบด้วยห้องเดียว (แคโทดสามตัว) หากคุณต้องการขยายการผลิตเมื่อมีความต้องการของตลาดสูง คุณสามารถเพิ่มจำนวนห้องสปัตเตอร์ริ่งได้ ซึ่งมีความยืดหยุ่นมากกว่า
2. อุปกรณ์คอมโพสิตเคลือบที่มีความแม่นยำ
ปัจจุบันมีเครื่องเคลือบบัตรหลายประเภทในท้องตลาดที่มีฟังก์ชันการทำงานที่แตกต่างกัน แกนหลักของสายการผลิตการเคลือบสำหรับการผลิตฟิล์มกระจกหน้าต่างคือเครื่องเคลือบที่มีความแม่นยำ